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螺杆式无油机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动,利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级,循环水真空泵,气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动,但无压缩,只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。
螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时,要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体等 ) 等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。

因此在选购无油真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,而选的真空泵就要**需求的真空度,否则达不到抽真空的要求,就会达不到工作要求。其次是无油真空泵抽气速率,真空泵,选型时就要稍大于所需求的抽气速率,这样就能更好的满足需要。后面看抽取的气体有无腐蚀性,有腐蚀的气体会腐蚀泵,**要用特殊的材质才能满足需求。

涡旋真空泵由涡旋式压缩机演变而来,机构原理早由法国人Cruex于1905年发明,但受限于当时的工艺技术并未应用于实际,直到上世纪80年代前后才应用于真空技术领域。其结构简单,零部件少;间隙小、泄漏率小,具有较高的压缩比,寿力真空泵,在较宽压力范围内有稳定的抽速;并且其压缩腔内容积的变化是连续的,因而驱动力矩变化小,功率变化小;振动噪声小,*冷却水与润滑油,油旋片式真空泵,维护简单,**性高。
由于涡旋式真空泵自身型线的特点,一般情况下,涡旋式真空泵泵的抽速不**过1000L/min;抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构,而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构,极限真空在1Pa左右。
